日本新闻:告别“卡脖子”！河南院士研发“中国靶” 让日本靶材降价80％

　　大河报记者 樊雪婧 摄影 张琮

　　近两日，郑州大学何季麟院士带队研发的“平板显示用高性能ITO靶材关键技术及工程化”项目荣获2020年度国家技术发明奖二等奖。消息发出，让这个突破“卡脖子”技术的“中国靶”备受关注。

　　“中国靶”长啥样？它有啥大能量？我们在生活中，能不能遇见它？11月5日，大河报记者走进郑州大学先进靶材中心，寻找“中国靶”的出生故事。

　　【先来认识这位靶材大咖】

　　走进郑州大学先进靶材中心，大厅最显眼处的展示台上，一块不起眼的炭黑色长方形板块站在C位，身旁还展示着它的名片——ITO靶材。

　　想弄清楚这位大咖的身世？先来说说ITO。ITO，氧化铟锡，这对有色金属届的“CP”，组合前是黄绿色的粉末，将它俩按照严格的比例混合、压型，制成灰绿色的素胚，放到特制的烧结炉内，经过1700摄氏度左右高温，变身为黑灰色的陶瓷半导体。

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　　（实验室的实验器材，通讯员张宁供图）

　　【“中国靶”问世，可替代进口】

　　在实验室里，记者见到了大小尺寸不同的ITO靶材，通常靶材尺寸越大，溅射到平板上的拼缝就越少，价值也越高。

　　但有小到大，却不是一件容易的事。正是因为烧不出大尺寸的ITO靶材，我们被“卡脖子”了很多年。

　　中国是铟资源大国，但80%靶材市场被日韩垄断，不仅平板显示产业仰人鼻息，ITO高端靶材价格也要“看人脸色”。以往靶材价格高达每公斤8000元，如今价格跌至每公斤1300元，80%的降幅正得益于“中国靶”的问世。

　　“ITO靶材制备自主体系的建立牵系着占全球65%新兴显示产业的安全，但曾经，中国ITO靶材的研发滞后20年。”提起过去，中国工程院院士、郑州大学材料学院院长何季麟有些痛心。

　　为何选择这一领域？何季麟院士的回答很明确：“国家战略需要！”

　　“在上世纪末，我们便关注ITO靶材的研发，经过20余年的科技攻关，实现了从无到有、自主研发再到并跑超越，打破了国外技术封锁，凭借自主创新力量实现了大尺寸ITO靶材全流程制备的国产化。”

　　据了解，何季麟院士团队创新发明了ITO靶材粉体制备、素坯注浆成形、无压氧气氛烧结与靶坯绑定——关键技术体系，建立了ITO靶材制备新型工艺流程，形成了完善的全流程工艺装备体系及控制标准，实现了ITO靶材粉末冶金技术的创新应用，其技术指标达到了国际先进水平。该技术突破性解决了高性能ITO靶材制备全流程工序的关键技术与装备“卡脖子”问题，填补了国内空白。

　　在郑州大学的技术支持下，我省目前建成了完善的ITO靶材研发平台和生产线，生产的ITO靶材在国内首次成功应用于京东方高世代TFT线，完全可替代进口。

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